如改變閥片結(jié)構(gòu)和材料以減小排氣噪聲；采用三缸式滑閥泵，使滑閥泵運行平穩(wěn)等。我國出產(chǎn)真空獲得設備從20世紀30年代開始起步，目前年產(chǎn)量已達12萬臺左右，電爐產(chǎn)品品種和質(zhì)量基本能夠知足海內(nèi)市場需求，鄭州科晶電爐采取了改進閥片材料、嚴格控制油量、選擇低噪聲電機等手段，使噪聲降低。
真空泵的機能質(zhì)量不僅僅取決于出產(chǎn)廠制造本身，大量的配套產(chǎn)品對真空泵的質(zhì)量起到了至關重要的作用，如軸承、齒輪、動密封、靜密封、電機、真空泵油等等，因此真空泵制造廠選用優(yōu)質(zhì)的配套產(chǎn)品對進步產(chǎn)品質(zhì)量是十分有效的。
泵的噪聲不符合尺度要求，一些減少泵振動和噪聲的新技術(shù)，新結(jié)構(gòu)滑閥泵在海內(nèi)不斷有人研制。一些企業(yè)因為缺少抽氣效率指標的檢測前提，產(chǎn)品出廠沒有經(jīng)由檢測監(jiān)控把關，使該項指標長期得不到改善和解決。
我國旋片泵出產(chǎn)設計水平、加工制造以及機能都已趨向成熟。中國入世后面對激烈的國際市場競爭，海內(nèi)真空獲得設備在質(zhì)量水平上與發(fā)達國家的差距亟待我們冷靜思索，研究對策。按尺度劃定，當旋片泵在進口壓力為2Pa時，表征泵抽氣能力的指標——抽氣效率應達到45％以上。
海內(nèi)真空獲得設備在質(zhì)量目前國內(nèi)產(chǎn)的油擴散泵存在的主要題目是返油嚴峻，使油擴散泵的使用前提受到限制,共性的質(zhì)量題目還有產(chǎn)品的耐久性和可靠性較差。旋片泵的噪聲主要來源于三方面：泵油對閥片的沖擊產(chǎn)生的噪聲；管式電爐配用電機產(chǎn)生的噪聲；振動、旋轉(zhuǎn)件產(chǎn)生的噪聲。箱式電爐目前旋片泵中皮帶泵約有80％的產(chǎn)品，直聯(lián)泵約有50％的產(chǎn)品，質(zhì)量能夠達到行業(yè)尺度要求，但仍存在以下題目：
2Pa時的抽速過低，抽氣效率達不到尺度要求。存在的題目是軸封漏油嚴峻；振動、噪聲大，有的產(chǎn)品動平衡不好，也有的齒輪、軸承精度不夠；一些產(chǎn)品的零流量壓縮比以及最大答應奪差達不到尺度要求；有的企業(yè)出產(chǎn)工藝裝備落后，不能保證零部件的加工精度和裝配精度。近幾年海內(nèi)主要出產(chǎn)廠對旋片泵的噴油、漏油題目下了很大的力氣加以解決，成效明顯，但是仍有約20％的旋片泵噴油、漏油。如H－150滑閥泵，海內(nèi)產(chǎn)品大多數(shù)要用地腳螺栓，否則因為振動，泵爬行嚴峻。
滑閥泵的噪聲形成機理比較復雜，普遍以為是多方共同作用的結(jié)果。
噴油和漏油題目。但目前旋片泵分歧格產(chǎn)品中，仍有20％的產(chǎn)品噪聲分歧格。該泵的特點是結(jié)構(gòu)簡樸、無機械運動部件、壽命長、不易損壞、在高真空范圍內(nèi)抽速大。
目前國產(chǎn)羅茨泵產(chǎn)品質(zhì)量相差比較懸殊，老的出產(chǎn)企業(yè)產(chǎn)品機能指標一般能夠達到或超過尺度要求。一方面是因為某些產(chǎn)品的進口直徑?jīng)]有執(zhí)行尺度，造成通導不足；一方面是因為零部件加工和裝配題目，引起泵的返流、泄漏及管阻加大。
羅茨泵 該泵極限壓力可達到5×10-2Pa，其特點為抽速大、抽氣時間短、無污染。多數(shù)滑閥泵啟動時噴油嚴峻，運轉(zhuǎn)后漏油。因為出產(chǎn)加工裝備落后，使出產(chǎn)效率低，零部件的互換性差，影響了產(chǎn)品的不亂性和可靠性。
我國滑閥泵質(zhì)量經(jīng)由多年的市場磨練，主要技術(shù)機能如極限壓力、抽速、抽氣效率等指標已經(jīng)得到大大改善，特別是近幾年，為解決滑閥泵的噪聲、振動等題目，出產(chǎn)企業(yè)與大專院校聯(lián)合，從理論到加工工藝都進行了卓有成效的探索和努力。盡管如斯，國產(chǎn)滑閥泵與國外產(chǎn)品比擬仍舊存在著以下較大差距：一是噪聲、振動大。
國產(chǎn)羅茨泵仍有30％左右的產(chǎn)品分歧格，假如與國際提高前輩水平比擬，綜合機能差距更大。而真空獲得設備中最大面廣的是旋片泵、滑閥泵、羅茨泵和油擴散泵。三是停泵返油嚴峻，造成啟動難題，使電機過載。
滑閥泵 該泵加上一些附屬裝置后具有抽出水蒸氣和侵蝕性氣體的能力，其工作壓力范圍寬，經(jīng)久耐用，故障率低。近幾年該泵在我國發(fā)展較快，年產(chǎn)量約為3000臺。二是噴油、漏油。還有的產(chǎn)品極限壓力指標和臨界前級壓力達不到尺度要求，使泵的整體機能降低。如排氣噪聲、機構(gòu)振動和激勵噪聲、電機與軸承噪聲以及泵油的沖擊噪聲等多種噪聲疊加的結(jié)果。
我國在滑閥泵的外觀質(zhì)量上也進行了不少探索，產(chǎn)品的外觀結(jié)構(gòu)設計更加美觀，泵體的鑄件質(zhì)量進步，泵體表面不需打膩子，噴漆后可組裝，外觀向儀器儀表化發(fā)展。此外，漏水、產(chǎn)品標牌與實際情況不符、螺釘松動、電機皮帶過緊或過松、旋片泵和滑閥泵的氣鎮(zhèn)裝置效果不顯著或失效等題目也比較普遍。我國產(chǎn)品與國外提高前輩國家的產(chǎn)品比擬噪聲普遍高出5分貝以上。
真空獲得設備按品種可分為15大類，按抽氣能力可分為高/超高真空泵、中真空泵和粗/低真空泵。四是不亂性、可靠性差。我國油擴散泵的年產(chǎn)量約2500臺。
油擴散泵 該泵是目前海內(nèi)在高真空范圍內(nèi)應用最普遍的泵，而目前我國旋片泵的分歧格產(chǎn)品中，80％的產(chǎn)品該項指標較低。一種新型產(chǎn)品HGL－150滑閥泵通過鑒定，該產(chǎn)品三個重要部位采用新型結(jié)構(gòu)，產(chǎn)品不但極限壓力低，而且噪聲比尺度降低6分貝，且運行平穩(wěn)，無需地腳螺栓。
旋片泵 該泵是所有真空獲得設備中產(chǎn)量最大、應用最普遍的真空泵，全國年產(chǎn)量約10萬臺。目前，99％以上的國產(chǎn)泵不進行可靠性試驗，出產(chǎn)企業(yè)對其產(chǎn)品的可靠性指標根本不了解。這些題目造成國產(chǎn)羅茨泵運行不可靠，故障率高，有的泵運轉(zhuǎn)幾個月就要維修，而德國L-H公司羅茨泵運行數(shù)年可以不維修?，F(xiàn)全國年產(chǎn)量約為3000臺。
